Résonateurs à ondes de surface haute fréquence sur substrat composite LiNbO3/Si réalisé par transfert de couches sur silicium et implantation ionique.

M. Solal (1) , Th. Pastureaud (2) , S. Ballandras (2, 3) , B. Aspar , B. Biasse (2) , W. Daniau (2) , W. Steichen (1, 2, 4) , V. Laude (2) , A. Laens

1 Temex
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs
4 Institute of Atomic Physics

M. Solal, Th. Pastureaud, S. Ballandras, B. Aspar, B. Biasse, et al.. Résonateurs à ondes de surface haute fréquence sur substrat composite LiNbO3/Si réalisé par transfert de couches sur silicium et implantation ionique.. Journées Couches Ferroélectriques JCF 2004, Besançon, 2004, France. ⟨hal-00135650⟩