Acoustique picoseconde : une technique originale de caractérisation des films minces - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Acoustique picoseconde : une technique originale de caractérisation des films minces

Arnaud Devos
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00133855

Soumis le : mercredi 28 février 2007-09:13:30

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00133855 , version 1 (28-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00133855 , version 1

Citer

Arnaud Devos. Acoustique picoseconde : une technique originale de caractérisation des films minces. Rôle des contraintes dans les Micro- et Nano-technologies, 2004, Meylan, France. ⟨hal-00133855⟩

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