Compensation par conception de la dilatation thermique de micro-interrupteurs RF

Quynh Huong Duong (1) , Xavier Lafontan (2) , Dominique Collard (1) , Lionel Buchaillot (1) , Petra Schmitt (2) , Patrick Pons (3) , F. Pressecq (4)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 NOVAMEMS
3 LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil
4 CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]

Cet article étudie les effets de la température sur le comportement de différentes géométries de micro-interrupteurs RF métalliques. Il présente une approche pour compenser la dilatation thermique des micro-interrupteurs par l'optimisation de la conception. A partir d'une géométrie initiale, nous cherchons des optimisations de la conception pour pouvoir réduire la sensibilité en température.

Mots clés: relaxation de contrainte; analyse de défaillance; étude thermique; micro-interrupteurs RF; relaxation de contrainte

Domaines: Mécanique [physics.med-ph]

Quynh Huong Duong, Xavier Lafontan, Dominique Collard, Lionel Buchaillot, Petra Schmitt, et al.. Compensation par conception de la dilatation thermique de micro-interrupteurs RF. 17e Congrès Français de Mécanique, 2005, Troyes, France. ⟨hal-04270490⟩