Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide

Anne-Sophie Rollier (1) , Bernard Legrand (1) , Lionel Buchaillot (1) , Dominique Collard (1)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Cet article présente la mise en œuvre d'actionneurs électrostatiques fonctionnant en milieu liquide par le biais d'une complète encapsulation des parties structurelles avec du nitrure de silicium peu contraint. Ces actionneurs ont été fabriqués et caractérisés. L'actionnement a été réalisé en milieu liquide. Du fait des permittivités élevées des liquides, le déplacement de la structure peut être contrôlé sur toute la distance inter électrodes sans que le phénomène de <> n'intervienne.

Mots clés: MEMS; actionnement électrostatique; effet de pull-in; environnement liquide; MEMS

Domaines: Mécanique [physics.med-ph]

Anne-Sophie Rollier, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Dominique Collard. Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide. 17e Congrès Français de Mécanique, 2005, Troyes, France. ⟨hal-04203498⟩