Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET

N. Abele; K. Segueni; K. Boucart; F. Casset; Bernard Legrand; L. Buchaillot; P. Ancey; A.M. Ionescu

Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET

, , , , (1) , , ,

1

N. Abele

Fonction : Auteur

K. Segueni

Fonction : Auteur

K. Boucart

Fonction : Auteur

F. Casset

Fonction : Auteur

Bernard Legrand

Fonction : Auteur
PersonId : 4144
IdHAL : bernard-legrand
ORCID : 0000-0001-5158-3654
IdRef : 137439423

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

CV

L. Buchaillot

Fonction : Auteur
PersonId : 180198
IdHAL : lionel-buchaillot
ORCID : 0000-0002-9844-0498
IdRef : 060779136

P. Ancey

Fonction : Auteur

A.M. Ionescu

Fonction : Auteur

Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00128669

Soumis le : vendredi 2 février 2007-10:43:16

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Dates et versions

hal-00128669 , version 1 (02-02-2007)

Identifiants

HAL Id : hal-00128669 , version 1

Citer

N. Abele, K. Segueni, K. Boucart, F. Casset, Bernard Legrand, et al.. Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET. 2006, pp.882-885. ⟨hal-00128669⟩

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