Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2006

Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm

Matthieu Gaudet
  • Fonction : Auteur
Jean-Christophe Camart
Lionel Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
S. Arscott
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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Citer

Matthieu Gaudet, Jean-Christophe Camart, Lionel Buchaillot, S. Arscott. Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm. Applied Physics Letters, 2006, 88 (2), pp.024107. ⟨10.1063/1.2164390⟩. ⟨hal-02347482⟩

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