Silicon surface nano-oxidation using scanning probe microscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Progress in Surface Science Année : 2006

Silicon surface nano-oxidation using scanning probe microscopy

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00127846 , version 1 (30-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00127846 , version 1

Citer

D. Stievenard, Bernard Legrand. Silicon surface nano-oxidation using scanning probe microscopy. Progress in Surface Science, 2006, 81, pp.112-140. ⟨hal-00127846⟩
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