Benzocyclobutene wafer bonding for III-V nanophotonic guiding structures - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Electronics Letters Année : 2005

Benzocyclobutene wafer bonding for III-V nanophotonic guiding structures

D. Lauvernier
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Jean-Pierre Vilcot
S. Garidel
  • Fonction : Auteur
S. Mc Murtry
  • Fonction : Auteur
Didier Decoster

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https://hal.science/hal-00125663

Soumis le : lundi 22 janvier 2007-11:31:09

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00125663 , version 1 (22-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00125663 , version 1

Citer

D. Lauvernier, Jean-Pierre Vilcot, S. Garidel, S. Mc Murtry, Didier Decoster. Benzocyclobutene wafer bonding for III-V nanophotonic guiding structures. Electronics Letters, 2005, 41, pp.1170-1172. ⟨hal-00125663⟩

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