Realization of sub-micron patterns on GaAs using a HSQ etching mask - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2005

Realization of sub-micron patterns on GaAs using a HSQ etching mask

D. Lauvernier
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
S. Garidel
  • Fonction : Auteur
C. Legrand
  • Fonction : Auteur
Jean-Pierre Vilcot

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https://hal.science/hal-00125656

Soumis le : lundi 22 janvier 2007-11:31:02

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00125656 , version 1 (22-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00125656 , version 1

Citer

D. Lauvernier, S. Garidel, C. Legrand, Jean-Pierre Vilcot. Realization of sub-micron patterns on GaAs using a HSQ etching mask. Microelectronic Engineering, 2005, 77, pp.210-216. ⟨hal-00125656⟩

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