Chlorinated silicon carbide CVD revisited for polycristalline bulk growth - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 2007

Chlorinated silicon carbide CVD revisited for polycristalline bulk growth

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Matériaux Génie des procédés

Yannick Champion  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00114193

Soumis le : mercredi 15 novembre 2006-18:44:55

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00114193 , version 1 (15-11-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00114193 , version 1

Citer

G. Chichignoud, M. Ucar, M. Pons, E. Blanquet. Chlorinated silicon carbide CVD revisited for polycristalline bulk growth. Surface and Coatings Technology, 2007, 201, pp.8888-8892. ⟨hal-00114193⟩

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