Etudes de couches minces de PMN-PT déposées par pulvérisation cathodique sur Pt/TiOx/Si/SiO2 et LaNiO3/SiO2/Si

Mickael Detalle (1) , G.S. Wang (1) , Pascal Roussel (2) , E. Fribourg-Blanc (3) , El Hadj Dogheche (1) , Eric Cattan (1) , Denis Remiens (1)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 UCCS - Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Chimie inorganique

Mickael Detalle, G.S. Wang, Pascal Roussel, E. Fribourg-Blanc, El Hadj Dogheche, et al.. Etudes de couches minces de PMN-PT déposées par pulvérisation cathodique sur Pt/TiOx/Si/SiO2 et LaNiO3/SiO2/Si. Journée Couches Minces Ferroélectriques 2005, 2005, Nantes, France. ⟨hal-00104971⟩