Strongly oriented BST films on La0.9Sr1.1O3 electrodes deposited on various substrates for integration of high capacitances on silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2006

Strongly oriented BST films on La0.9Sr1.1O3 electrodes deposited on various substrates for integration of high capacitances on silicon

L. Goux
  • Fonction : Auteur
M. Gervais
  • Fonction : Auteur
François Gervais
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-00087574 , version 1 (25-07-2006)

Identifiants

Citer

L. Goux, M. Gervais, François Gervais, Corinne Champeaux, Alain Catherinot. Strongly oriented BST films on La0.9Sr1.1O3 electrodes deposited on various substrates for integration of high capacitances on silicon. Applied Surface Science, 2006, 252, pp.3085-3091. ⟨10.1016/j.apsusc.2005.09.052⟩. ⟨hal-00087574⟩
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