Reliability improvement of high value doped polysilicon-based resistors

Erwann Carvou (1) , France Le Bihan (2) , Anne-Claire Salaün (2) , Régis Rogel (2) , Olivier Bonnaud (2) , Y. Rey-Tauriac (3) , X. Gagnard (3) , L. Roland (3)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 STMicroelectronics

Domaines: Autre

Erwann Carvou, France Le Bihan, Anne-Claire Salaün, Régis Rogel, Olivier Bonnaud, et al.. Reliability improvement of high value doped polysilicon-based resistors. Microelectronics Reliability, 2002, 42, pp.1369-1372. ⟨hal-00085661⟩