Annealing Studies of Al-implanted 6H-SiC in an Induction Furnace - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Science and Engineering: B Année : 2002

Annealing Studies of Al-implanted 6H-SiC in an Induction Furnace

L. Ottaviani
  • Fonction : Auteur
M. Lazar
CV
Marie-Laure Locatelli
J.P. Chante
  • Fonction : Auteur
V. Heera
  • Fonction : Auteur
W. Skorupa
  • Fonction : Auteur
M. Voelskow
  • Fonction : Auteur
Ph. Torchio
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https://hal.science/hal-00084105

Soumis le : mercredi 5 juillet 2006-16:33:02

Dernière modification le : vendredi 15 septembre 2023-10:38:30

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00084105 , version 1 (05-07-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00084105 , version 1

Citer

L. Ottaviani, M. Lazar, Marie-Laure Locatelli, J.P. Chante, V. Heera, et al.. Annealing Studies of Al-implanted 6H-SiC in an Induction Furnace. Materials Science and Engineering: B, 2002, 91-92, pp.325-328. ⟨hal-00084105⟩

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