Oral : "Ultra low-k PECVD porogen approach : matrix precursor comparison and porogen removal treatment study" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Oral : "Ultra low-k PECVD porogen approach : matrix precursor comparison and porogen removal treatment study"

L. Favennec
  • Fonction : Auteur
V. Jousseaume
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
J. Durand
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes
G. Passemard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00083077

Soumis le : jeudi 29 juin 2006-14:13:59

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00083077 , version 1 (29-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00083077 , version 1

Citer

L. Favennec, V. Jousseaume, V. Rouessac, J. Durand, G. Passemard. Oral : "Ultra low-k PECVD porogen approach : matrix precursor comparison and porogen removal treatment study". MRS Meeting - March 28-April 1, 2005, 2005, San Francisco, United States. ⟨hal-00083077⟩

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