Ellipsometry of reflected and scattered fields for the analysis of substrates optical quality - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2006

Ellipsometry of reflected and scattered fields for the analysis of substrates optical quality

Carole Deumie
  • Fonction : Auteur
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Institut FRESNEL
Gaelle Georges
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Olivier Gilbert
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https://hal.science/hal-00081400

Soumis le : vendredi 23 juin 2006-10:02:23

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:47

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00081400 , version 1 (23-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00081400 , version 1

Citer

Carole Deumie, Gaelle Georges, Olivier Gilbert, Laurent Arnaud, Claude Amra. Ellipsometry of reflected and scattered fields for the analysis of substrates optical quality. Applied optics, 2006, 45, pp.1640. ⟨hal-00081400⟩

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