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Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Photothermal facility for optical characterization of DUV materials

Laurent Gallais
Hauke Hinsch
  • Fonction : Auteur
Man-Long Lay
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00081057 , version 1 (21-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00081057 , version 1

Citer

Laurent Gallais, Hauke Hinsch, Man-Long Lay, Mireille Commandre. Photothermal facility for optical characterization of DUV materials. 2004, pp.597. ⟨hal-00081057⟩
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