Influence of the Quartz Window in a Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition Apparatus - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Optoelectronics and Advanced Materials Année : 2006

Influence of the Quartz Window in a Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition Apparatus

P.O. Logerais
  • Fonction : Auteur
A. Bouteville
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00078899 , version 1 (08-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00078899 , version 1

Citer

P.O. Logerais, Mihaela Girtan, A. Bouteville. Influence of the Quartz Window in a Rapid Thermal Chemical Vapour Deposition Apparatus. Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, 2006, 8, pp.139-143. ⟨hal-00078899⟩

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