"Ultra low-k PECVD porogen approach : Matrix precursors comparison and porogen removal treatment study" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue MRS Online Proceedings Library Année : 2005

"Ultra low-k PECVD porogen approach : Matrix precursors comparison and porogen removal treatment study"

L. Favennec
  • Fonction : Auteur
V. Jousseaume
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V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
J. Durand
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes
G. Passemard
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https://hal.science/hal-00077998

Soumis le : vendredi 2 juin 2006-09:15:41

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hal-00077998 , version 1 (02-06-2006)

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Citer

L. Favennec, V. Jousseaume, V. Rouessac, J. Durand, G. Passemard. "Ultra low-k PECVD porogen approach : Matrix precursors comparison and porogen removal treatment study". MRS Online Proceedings Library, 2005, 863, pp.B3.2. ⟨10.1557/PROC-863-B3.2⟩. ⟨hal-00077998⟩

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