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		Dépôt de couches minces de silicium à grande vitesse par plasma MDECR. Thien Hai Dao Physique [physics]. Ecole Polytechnique X, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩ Thèse pastel-00003255v1	Envoyer sur ORCID Exporter BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite Export avancé Partager Gmail Facebook X LinkedIn More

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