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Theses

Design of 3D protection against electrostatic discharges (ESD) in advanced silicon on insulator FDSOI thin film multilayer technology

Résumé : L’objectif de la thèse était de concevoir des composants de protection contre les décharges électrostatiques (ESD) sur film mince de silicium en technologie 28nm FD-SOI de chez STMicroelectronics (technologie silicium sur isolant « Silicon-On-Insulator » (SOI) entièrement déplété « Fully Depleted » (FD)). Cette technologie est caractérisée par un film de silicium, un oxyde enterré ultra minces (UTBB), et par une grille métallique avec oxyde à haute permittivité (high-k). En prenant en compte ces caractéristiques, des composants existants ont été étudiés et de nouvelles solutions technologiques ont été proposées pour les améliorer. De plus, de nouveaux composants ont été élaborés. Ils ont été simulés en 3D avec le logiciel TCAD afin de comprendre leur comportement électrique. Des plaques de silicium ont été mesurées afin de vérifier la réponse des composants lors de tests typiques pour les ESD. Ce travail ouvre la voie pour des composants de protection contre les décharges électrostatiques conçus dans le film mince avec une attention spéciale pour l’aspect 3D, tel que (i) la possibilité d’implémenter la protection dans un circuit intégré 3D monolithique, (ii) la conception de matrice en tant que composant de protection, et (iii) la fusion de différents composants pour bénéficier d’une conduction de courant en 3D.
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02520970
Contributor : Abes Star :  Contact
Submitted on : Friday, March 27, 2020 - 10:16:15 AM
Last modification on : Thursday, August 6, 2020 - 3:02:42 AM
Document(s) archivé(s) le : Sunday, June 28, 2020 - 1:35:14 PM

File

DE_CONTI_2019_archivage.pdf
Version validated by the jury (STAR)

Identifiers

  • HAL Id : tel-02520970, version 1

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Louise de Conti. Design of 3D protection against electrostatic discharges (ESD) in advanced silicon on insulator FDSOI thin film multilayer technology. Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université Grenoble Alpes, 2019. English. ⟨NNT : 2019GREAT051⟩. ⟨tel-02520970⟩

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