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Université d'Orléans |  |
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Université d'Orléans | |
| HAL : hal-00705300, version 1 |
| DOI : 10.1109/TPS.2011.215906 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| IEEE Transactions on Plasma Science 39, 11 (2011) 2756 |
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| Particle Collecting in a 13.56 MHz Radiofrequency Methane Discharge |
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Véronique Massereau-Guilbaud 1Isabelle Géraud-Grenier 1 |
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| (05/07/2011) |
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| Radiofrequency methane plasmas are widely used for deposition of amorphous hydrogenated coatings a-C:H in PECVD reactors. According to our experimental conditions, particles are also generated in the plasma. The study of the chemical nature of these particles requires a sufficient quantity to be collected at the end of the experiment. We show that a modification of the electrical field lines above the grounded electrode improves particle collecting. |
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| 1 : | Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI) |
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CNRS : UMR6606 – Université d'Orléans |
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| Domaine | : | Physique/Physique/Physique des plasmas |
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| Dusty plasma |
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| Liste des fichiers attachés à ce document : | |||||
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| hal-00705300, version 1 | |
| http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00705300 | |
| oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00705300 | |
| Contributeur : Véronique Massereau-Guilbaud | |
| Soumis le : Jeudi 7 Juin 2012, 11:59:03 | |
| Dernière modification le : Lundi 11 Juin 2012, 12:42:59 | |
