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Ellipsometry of reflected and scattered fields for the analysis of substrates optical quality
Deumie C., Georges G., Gilbert O., Arnaud L., Amra C.
Applied Optics
45
(2006) 1640 [hal-00081400 - version 1]
Angle resolved ellipsometry of scattering patterns from arbitrary surfaces and bulks
Gilbert O., Deumie C., Amra C.
Optics express
13
(2005) 2403 [hal-00082249 - version 1]
Elimination of polarized light scattered by surface roughness or bulk heterogeneity
Amra C., Deumie C., Gilbert O.
Optics express
13
(2005) 10854 [hal-00082247 - version 1]
Sondage optique par ellipsométrie sur flux diffusé
Deumie C., Georges G., Arnaud L., Gilbert O., Amra C.
Contrôles et Mesures Optiques pour l'Industrie
, France (2005) [hal-00081414 - version 1]
Ellipsometry of scattering patterns from optical inhomogeneities
Deumie C., Georges G., Gilbert O., Amra C.
Dans
Proc. SPIE Vol. 5965, Optical Fabrication, Testing, and Metrology II
- (2005) [hal-00081406 - version 1]
Angular phase measurement of polarized scattering
Deumie C., Gilbert O., Amra C.
Optical Interference Coating
, États-Unis (2004) [hal-00082320 - version 1]
Analyse ellipsométrique de la diffusion angulaire par les surfaces, volumes, composants multicouches
Deumie C., Gilbert O., Amra C.
Journées imagerie polarimétrique
, France (2004) [hal-00082318 - version 1]
Light scattering of the scattered field for the analysis of microelectronics patterns
Deumie C., Gilbert O., Amra C.
Workshop Scatterometry
, France (2004) [hal-00082263 - version 1]
High-angle resolved scattering for detection and discremination of bulks and surfaces
Deumie C., Gilbert O., Amra C.
Optical Interference Coating
, Canada (2001) [hal-00082310 - version 1]
Etude de la diffusion lumineuse à haute résolution angulaire : application à la discrimination des rugosités et hétérogénéités, à la caractérisation du degré de perturbation des échantillons
Deumie C., Gilbert O., Amra C.
Colloque Mesures Optiques pour l'Industrie
, France (2001) [hal-00082309 - version 1]