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HAL - OMP |  |
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HAL - OMP | |
| HAL : hal-00604574, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| Int. Conf. materials for advanced metallization, MAM 2010, Malines : Belgique (2010) |
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| Comparison of Radio Frequency Physical Vapor Deposition target material used for LaOx cap layer deposition in 32nm |
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| S. BaudotP. Caubet |
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| (2010) |
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| 1 : | UMS 831 unité mixte de service (UMS 831) |
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CNRS : UMS831 – Institut de recherche pour le développement [IRD] – CNES – INSU – Université Paul Sabatier [UPS] - Toulouse III – Observatoire Midi-Pyrénées |
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| 2 : | STMicroelectronics (Crolles) (ST-CROLLES) |
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STMicroelectronics |
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| 3 : | Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMAP) |
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CNRS : UMR5266 – Université Joseph Fourier - Grenoble I – Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) |
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| 4 : | Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (Lab-STICC) |
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CNRS : UMR3192 – Université de Bretagne Occidentale [UBO] – Université de Bretagne Sud – Institut Mines-Télécom – Télécom Bretagne – PRES Université Européenne de Bretagne [UEB] – Institut Supérieur des Sciences et Technologies de Brest (ISSTB) |
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| 5 : | Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) |
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Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) – Université Joseph Fourier - Grenoble I – CNRS : UMR5130 – Université de Savoie |
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| Domaine | : | Physique/Matière Condensée/Autre |
| hal-00604574, version 1 | |
| http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00604574 | |
| oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00604574 | |
| Contributeur : Chahla Domenget | |
| Soumis le : Mercredi 29 Juin 2011, 11:33:07 | |
| Dernière modification le : Mercredi 29 Juin 2011, 11:33:07 | |
