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HAL - OMP |  |
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HAL - OMP | |
| HAL : hal-00457058, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| Journal of Microelectromechanical Systems 18, 3 (2009) 555-569 |
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| New MEMS-based nanomechanical testing laboratory - application to aluminium, titanium, polysilicon and silicon nitride thin films. |
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| S. Gravier 1M. Coulombier 2 |
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| (2009) |
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| 1 : | Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMAP) |
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CNRS : UMR5266 – Université Joseph Fourier - Grenoble I – Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) |
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| 2 : | Université Catholique de Louvain (UCL) |
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Université Catholique de Louvain (UCL) - Belgique |
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| 3 : | Prof. Espinosa Micro & Nanomechan Lab. |
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Northwestern University |
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| 4 : | Centre d'étude spatiale des rayonnements (CESR) |
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CNRS : UMR5187 – Observatoire Midi-Pyrénées – INSU – Université Paul Sabatier [UPS] - Toulouse III |
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| 5 : | Microwave Lab |
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UCL |
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| Domaine | : | Chimie/Matériaux Sciences de l'ingénieur/Matériaux |
| hal-00457058, version 1 | |
| http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00457058 | |
| oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00457058 | |
| Contributeur : Michel Pons | |
| Soumis le : Mardi 16 Février 2010, 15:10:58 | |
| Dernière modification le : Mardi 16 Février 2010, 15:10:58 | |
