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Modal control of mechanically coupled NEMS arrays for tunable RF filters
Kharrat C., Colinet E., Durrafourg L., Henz S., Andreucci P., Voda A.
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
57
, 6 (2010) 1285-1295 [hal-00691830 - version 1]