Application de la méthode de rétrodiffusion des électrons à la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements légers sur métaux ou alliages légers

G.R. Roche (1) , J.F. Deveau , P.J. Cunat , P. Levy , J. Boin , C. Riss

1 LPC - Laboratoire de Physique Corpusculaire - Clermont-Ferrand

Le problème envisagé concerne la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements organiques sur métaux ou alliages légers. Nous étudions les caractéristiques d'une jauge à rétrodiffusion β opérant sous atmosphère d'hélium. Nous montrons que le fait de travailler sous hélium améliore les résultats de façon très importante. L'influence de l'énergie de la source radio-active et du numéro atomique du revêtement sont examinés. Les résultats obtenus concernent également la précision, le temps de mesure ainsi que la surface de l'échantillon sous investigation.

Mots clés: thickness measurement

Domaines: Articles anciens; Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]

G.R. Roche, J.F. Deveau, P.J. Cunat, P. Levy, J. Boin, et al.. Application de la méthode de rétrodiffusion des électrons à la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements légers sur métaux ou alliages légers. Revue de Physique Appliquée, 1970, 5 (2), pp.317-320. ⟨10.1051/rphysap:0197000502031700⟩. ⟨jpa-00243394⟩