Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si

Wei-Zhen Yao; F Roqueta; J Craveur; S Belhenini; P Gardes; Abdellah Tougui

doi:10.1088/2053-1591/aaba4b

Article Dans Une Revue Materials Research Express Année : 2018

Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si

(1) , (2) , , , , (1)

1
2

Wei-Zhen Yao

Fonction : Auteur

Mécanique des Matériaux et Procédés

F Roqueta

Fonction : Auteur

STMicroelectronics [Tours]

J Craveur

Fonction : Auteur

S Belhenini

Fonction : Auteur

P Gardes

Fonction : Auteur

Abdellah Tougui

Fonction : Auteur

Mécanique des Matériaux et Procédés

Domaines

Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph] Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Mécanique des solides [physics.class-ph] Mécanique des structures [physics.class-ph]

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https://hal.science/hal-02972471

Soumis le : mardi 20 octobre 2020-14:03:15

Dernière modification le : mardi 16 janvier 2024-12:24:06

Dates et versions

hal-02972471 , version 1 (20-10-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02972471 , version 1
DOI : 10.1088/2053-1591/aaba4b

Citer

Wei-Zhen Yao, F Roqueta, J Craveur, S Belhenini, P Gardes, et al.. Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si. Materials Research Express, 2018, 5 (4), pp.046405. ⟨10.1088/2053-1591/aaba4b⟩. ⟨hal-02972471⟩

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