%0 Conference Paper
%F Oral 
%T Self-polarized pyroelectric LiTaO3 thin films
%+ Institut d’Electronique et des Systèmes (IES)
%+ Laboratoire Charles Coulomb (L2C)
%+ Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique (M2A)
%A Garraud, A.
%A Nadar, S.
%A Giani, Alain
%A Combette, Philippe
%< avec comité de lecture
%B Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2014
%C Cannes, France
%8 2014
%D 2014
%Z Engineering Sciences [physics]/ElectronicsConference papers
%G English
%L hal-02056757
%U https://hal.science/hal-02056757
%~ CNRS
%~ IES
%~ L2C
%~ MIPS
%~ UNIV-MONTPELLIER
%~ UM-2015-2021