Matériaux polymères pour la création de guides optiques

Christiane Carre (1) , Kevin Audo (2) , Jonathan Lemaître (1) , Isabelle Hardy (1, 3) , Dominique Bosc (1) , Guillaume Vignaud (2) , Isabelle Pillin (2)

1 FOTON - Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
2 LIMATB - Laboratoire d'Ingénierie des Matériaux de Bretagne
3 OPT - Département Optique

Un des objectifs de travail au laboratoire Foton est l'amélioration du confinement de la lumière dans les microstructures polymères, de par leurs propriétés optiques (indices de réfraction optimisés, transparence à la longueur d'onde choisie) et chimiques (compatibilité des matériaux de cœur et de gaine, stabilité dans le temps), ainsi que par la réduction des pertes intrinsèques et extrinsèques des guides. Pour cela, la détermination des propriétés physico-chimiques des polymères utilisés lors de la création d'un guide optique et l'optimisation des interfaces mises en jeu sont deux directions de travail privilégiées, sachant que les structures polymères sont réalisées en photolithographie conventionnelle par masquage dans l'UV à 365 nm sur un substrat de silicium, suivi d'une gravure RIE.

Mots clés: ellipsométrie; Guides Optiques; polymères; indice de réfraction; température de transition vitreuse

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Optique [physics.optics]

Christiane Carre, Kevin Audo, Jonathan Lemaître, Isabelle Hardy, Dominique Bosc, et al.. Matériaux polymères pour la création de guides optiques. 13ème Colloque francophone du Club CMOI/SFO - Méthodes et Techniques Optiques pour l'Industrie, Nov 2013, Orléans, France. pp.Session 15, n° 35. ⟨hal-00914605⟩