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International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits, IPFA, Singapour : Singapour (2009)
Best test pattern failure analysis flow for functional logic failure localization by IR-OBIRCH technique
A. Machouat 1, G. Haller 1, V. Goubier 1, D. Lewis 2, Philippe Perdu 3, V. Pouget 2, Fabien Essely 2
(04/09/2009)

The optical IR-OBIRCh technique is a standard failure analysis tool used to localize defects that are located at interconnects layers levels. For a functional logic failure, a failing test pattern is used to condition the device into a particular logic state to generate the failure. Commonly, the defect is detected for a set of test patterns. All test patterns will not provide the same IR-OBIRCh response. A random selection of test patterns may not lead to localize the defect by IR-OBIRCh technique or give fake results. We have performed an extended study of IR-OBIRCh response of a functional logic failure in function of test patterns. Based on these results a best test pattern failure analysis flow has been developed and implemented in order to localize a functional logic failure with IR-OBIRCh technique.
1 :  St Microelectronics
ST microelectronics
2 :  Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS)
CNRS : UMR5218 – Université Sciences et Technologies - Bordeaux I – Institut Polytechnique de Bordeaux
3 :  Centre National d'Etudes Spatiales (CNES)
CNES
Sciences de l'ingénieur/Electronique

Physique/Physique/Optique

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