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HAL : hal-00661495, version 1

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IEEE Electron Device Letters 32, 10 (2011) 1421 - 1423
High-Voltage 4H-SiC Thyristors With a Graded Etched Junction Termination Extension
Gontran Pâques 1, Sigo Scharnholz 1, Nicolas Dheilly 2, Dominique Planson 2, Rik W. De Doncker 3
(08/09/2011)

For the first time, a graded etched junction termination extension (JTE) is applied to completed 4H-SiC gate turn-off thyristors. These devices demonstrate the feasibility of nonimplanted high-voltage SiC thyristors. The maximal measured forward breakdown voltage of 7.8 kV corresponds very well to the ideal value of 8.1 kV. This letter explains the conceptual procedure to realize an optimal four-step JTE and compares measurement results with those obtained from finite-element simulations.
1 :  Institut franco-allemand de recherches de Saint-Louis (ISL)
DGA
2 :  Ampère
CNRS : UMR5005 – Université Claude Bernard - Lyon I – Institut National des Sciences Appliquées (INSA) - Lyon – Ecole Centrale de Lyon
3 :  Institut für Stromrichtertechnik und Elektrische Antriebe (ISEA)
RWTH
Sciences de l'ingénieur/Energie électrique

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