Method of adjusting the resonance frequency of a micro-machined element

Y. Civet (1) , F. Casset (2) , Skandar Basrour (1) , J.F. Carpentier (3)

1 TIMA - Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]

La présente invention concerne les éléments vibrants micro-usinés se trouvant dans certains composants électromécaniques tels que les résonateurs, les capteurs de mouvement (accéléromètres, gyromètres, ?) et les capteurs de vibrations. La présente invention s'applique notamment à la fabrication de tels composants. Procédé d'ajustement de la fréquence de résonance d'un élément vibrant, comprenant une étape de mesure de la fréquence de résonance (FR) de l'élément vibrant, caractérisé en ce qu'il comprend des étapes consistant à déterminer à l'aide d'abaques, et en fonction de la fréquence de résonance mesurée (FR), des dimensions et une position d'au moins une zone d'épaisseur modifiée à former sur l'élément vibrant pour que la fréquence de résonance de celui-ci corresponde à une fréquence de consigne, et à former sur l'élément vibrant une zone d'épaisseur modifiée aux dimensions et positions déterminées.

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Y. Civet, F. Casset, Skandar Basrour, J.F. Carpentier. Method of adjusting the resonance frequency of a micro-machined element. France, Patent n° : 11/52729. 2011. ⟨hal-00653940⟩