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HAL : hal-00585449, version 1

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Journées IBERNAM-CMC2, Barcelone : Espagne (2010)
Functionalization of screen-printed PZT microcantilevers for gas detection
R.M. Vazquez, R. Calavia, E. Llobet, F.J. Arregui, C.R. Zamarreño, Riadh Lakhmi 1, Hélène Debéda 1, Claude Lucat 1, M. Delgado
(2010)
1 :  Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS)
CNRS : UMR5218 – Université Sciences et Technologies - Bordeaux I – Institut Polytechnique de Bordeaux
Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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