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FR2945097 (01/01/2009) - France
Vanne microfluidique à usinage unique
M. Allain 1, S. Basrour 2, J. Berthier 1, P. Pouteau 1
(01/01/2009)
1 :  Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (LETI)
CEA : DRT/LETI
2 :  Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture (TIMA)
CNRS : UMR5159 – Université Joseph Fourier - Grenoble I – Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)
Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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