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| HAL : hal-00487498, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 19 (2010) 1015-1017 |
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| Thermal excitation and piezoresistive detection of cantilever in-plane resonance modes for sensing applications |
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| L. Beardslee 1A.M. Addous 1 |
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| (2010) |
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| 1 : | School of Electrical and Computer Engineering - Georgia Insitute of Technology (ECE GeorgiaTech) |
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Georgia Institute of Technology |
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| 2 : | Department of Civil and Environmental Engineering |
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Marquette University |
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| 3 : | Department of Electrical and Computer Engineering |
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Marquette University |
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| 4 : | Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS) |
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CNRS : UMR5218 – Université Sciences et Technologies - Bordeaux I – Institut Polytechnique de Bordeaux |
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| Domaine | : | Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique |
| hal-00487498, version 1 | |
| http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00487498 | |
| oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00487498 | |
| Contributeur : Isabelle Dufour | |
| Soumis le : Samedi 29 Mai 2010, 14:33:08 | |
| Dernière modification le : Lundi 30 Août 2010, 22:38:29 | |
