Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasma

Mohamed El Kodadi (1) , Maxime Besacier (1) , Issam Gereige (1) , Patrick Schiavone (1)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

La scatterométrie dynamique est une technique de métrologie optique basée sur une analyse de la lumière diffractée par un objet, elle fait preuve d'un potentiel remarquable, il s'agit d'une technique non-destructive applicable au contrôle in-situ en temps réel. L'article présente des résultats de l'application de la scatterometrie dynamique pour le contrôle d'un procédé de « resist trimming ». Les mesures obtenues par scatteromètrie sont comparées avec des mesures 3D-AFM obtenues dans les mêmes conditions.

Mots clés: Scatterométrie en temps réel; metrologie optique

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Mohamed El Kodadi, Maxime Besacier, Issam Gereige, Patrick Schiavone. Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi des procédés de gravure plasma. 2009. ⟨hal-00441191⟩