Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication

David Grojo (1, 2) , Philippe Delaporte (1)

1 LP3 - Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
2 NRC - Steacie Institute for Molecular Sciences

Les propriétés particulières des interactions entre une impulsion laser et des particules submicrométriques apportent de nouvelles solutions dans la course à la miniaturisation. Les travaux réalisés au laboratoire LP3 intéressent plus particulièrement les applications de nettoyage extrême pour l'industrie des semi-conducteurs et participent au développement de nouvelles techniques de nanofabrication.

Domaines: Optique [physics.optics]

David Grojo, Philippe Delaporte. Procédés laser-particules : décontamination et nanofabrication. Photoniques, 2008, 33, pp.50-54. ⟨hal-00261655⟩