Quantitative thermoreflectance imaging : calibration method and validation on a dedicated integrated circuit

G. Tessier (1) , S. Pavageau (1) , C. Filloy (1) , B. Charlot (2) , G. Jerosolimski (1) , D. Fournier (1) , B. Cretin (3) , S. Dilhaire (3) , S. Gomes (3) , N. Trannoy (3) , P. Vairac (3) , S. Volz (3)

1 LSLP - Laboratoire de Spectroscopie en Lumière Polarisée
2 TIMA - Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés
3 MN - Micro et nanothermique

We have developed a CCD-based thermoreflectance microscope which can deliver thermal images of working integrated circuits.

Mots clés: Thermoreflectance; thermal mapping

Domaines: Architectures Matérielles [cs.AR]

G. Tessier, S. Pavageau, C. Filloy, B. Charlot, G. Jerosolimski, et al.. Quantitative thermoreflectance imaging : calibration method and validation on a dedicated integrated circuit. THERMINIC 2005, Sep 2005, Belgirate, Lago Maggiore, Italy. pp.290-293. ⟨hal-00189488⟩