Etude de la conductivité thermique de microsystèmes thermiques à base de silicium poreux

Amaria Ould-Abbas (1) , Mama Bouchaour (1) , Malika Madani (1) , Nasr Eddine Chabane Sari (1)

1 URMER - Unité de Recherche Matériaux et Energies Renouvelables

Le silicium meso-poreux, obtenu par attaque électrochimique du silicium monocristallin, présente une conductivité thermique proche de celle de l'oxyde de silicium. C'est donc un excellent candidat pour assurer l'isolation thermique des microcapteurs sur silicium tout en garantissant la stabilité mécanique de la micro-structure. Néanmoins, avant de mettre en oeuvre le capteur sur silicium poreux, la compréhension du transport thermique dans une telle nano-structure et l'étude expérimentale de sa conductivité thermique, en fonction de ses paramètres caractéristiques, sont nécessaires. Dans ce travail nous nous intéressons à l'anodisation du silicium pour dégager les principaux facteurs, agissant sur la morphologie en profondeur de la couche. Cette dernière est évaluée par l'analyse de la répartition en surface et en profondeur de la taille des cristallites composant le matériau, au moyen de la spectroscopie micro-Raman. La stabilisation par oxydation de la couche de silicium poreux nécessite un double traitement pour garantir une faible conductivité thermique tout en assurant une bonne tenue mécanique.

Domaines: Thermique [physics.class-ph]

Amaria Ould-Abbas, Mama Bouchaour, Malika Madani, Nasr Eddine Chabane Sari. Etude de la conductivité thermique de microsystèmes thermiques à base de silicium poreux. JITH 2007, Aug 2007, Albi, France. 5p. ⟨hal-00162018⟩