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| HAL : hal-00152970, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| Materials Science in Semiconductor Processing 9 (2006) 949-953 |
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| Interfaces between gamma-Al2O3 and silicon |
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| P. Boulenc 1I. Devos |
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| (2006) |
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| 1 : | Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie (IEMN) |
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CNRS : UMR8520 – Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN) – Université Lille I - Sciences et technologies – Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis |
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| hal-00152970, version 1 | |
| http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00152970 | |
| oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00152970 | |
| Contributeur : Marie-Renée Friscourt | |
| Soumis le : Vendredi 8 Juin 2007, 09:27:49 | |
| Dernière modification le : Vendredi 8 Juin 2007, 09:28:40 | |
