2018

auteur

Mukesh Kulsreshath, Alexane Vital, Philippe Lefaucheux, Christophe Sinturel, Thomas Tillocher, Marylène Vayer, Mohamed Boufnichel, Rémi Dussart

titre

High aspect ratio etched sub-micron structures in silicon obtained by cryogenic plasma deep-etching through perforated polymer thin films

article

Micro and Nano Engineering, 2018, 1, pp.42-48. ⟨10.1016/j.mne.2018.10.007⟩

DOI

DOI : 10.1016/j.mne.2018.10.007

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2014

auteur

Judith Golda, Mukesh Kulsreshath, H Boettner, Valentin Felix, Remi Dussart, V Schulz-von Der Gathen

titre

Circular Emission and Destruction Patterns on a Silicon-Based Microdischarge Array

article

IEEE Transactions on Plasma Science, 2014, 42 (10), pp.2646. ⟨10.1109/TPS.2014.2337657⟩

DOI

DOI : 10.1109/TPS.2014.2337657

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auteur

Mukesh Kulsreshath, Judith Golda, V. Schulz-von Der Gathen, Remi Dussart

titre

Width dependent interaction of trench-like microdischarges arranged in sub-arrays on a single silicon based chip

article

Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23, pp.045012. ⟨10.1088/0963-0252/23/4/045012⟩

DOI

DOI : 10.1088/0963-0252/23/4/045012

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2013

auteur

M. K. Kulsreshath, N. Sadeghi, L. Schwaederle, T. Dufour, L. J. Overzet, P. Lefaucheux, R. Dussart

titre

Ignition and extinction phenomena in helium micro hollow cathode discharges

article

Journal of Applied Physics, 2013, 114 (24), pp.243303. ⟨10.1063/1.4858418⟩

DOI

DOI : 10.1063/1.4858418

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2012

auteur

Mukesh Kulsreshath, Laurent Schwaederlé, Lawrence J. Overzet, Philippe Lefaucheux, Julien Ladroue, Thomas Tillocher, Olivier Aubry, M. Woytasik, G. Schelcher, Remi Dussart

titre

Study of dc micro-discharge arrays made in silicon using CMOS compatible technology

article

Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.285202. ⟨10.1088/0022-3727/45/28/285202⟩

DOI

DOI : 10.1088/0022-3727/45/28/285202

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auteur

Laurent Schwaederlé, Mukesh Kulsreshath, Lawrence J. Overzet, Philippe Lefaucheux, Thomas Tillocher, Remi Dussart

titre

Breakdown study of dc silicon micro-discharge devices

article

Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.065201. ⟨10.1088/0022-3727/45/6/065201⟩

DOI

DOI : 10.1088/0022-3727/45/6/065201

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2010

auteur

Thierry Dufour, Lawrence J. Overzet, Remi Dussart, L. C. Pitchford, N Sadeghi, P Lefaucheux, M Kulsreshath, P Ranson

titre

Experimental study and simulation of a micro-discharge with limited cathode area

article

The European Physical Journal D : Atomic, molecular, optical and plasma physics, 2010, 60, pp.565-574. ⟨10.1140/epjd/e2010-00273-6⟩

DOI

DOI : 10.1140/epjd/e2010-00273-6

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auteur

Remi Dussart, Lawrence J. Overzet, P Lefaucheux, Thierry Dufour, M Kulsreshath, Monali Mandra, Thomas Tillocher, O Aubry, S Dozias, P Ranson, M Goeckner

titre

Integrated micro-plasmas in silicon operating in helium

article

The European Physical Journal D : Atomic, molecular, optical and plasma physics, 2010, 60, pp.601-608. ⟨10.1140/epjd/e2010-00272-7⟩

DOI

DOI : 10.1140/epjd/e2010-00272-7

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auteur

Remi Dussart, Lawrence J. Overzet, Philippe Lefaucheux, Thierry Dufour, Mukesh Kulsreshath, Monali Mandra, Thomas Tillocher, Olivier Aubry, Sébastien Dozias, Pierre Ranson, Jeong Bong Lee, Matthew Goeckner

titre

Integrated micro-plasmas in silicon operating in helium

article

The European Physical Journal D : Atomic, molecular, optical and plasma physics, 2010, 60, pp.601. ⟨10.1140/epjd/e2010-00272-7⟩

DOI

DOI : 10.1140/epjd/e2010-00272-7

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