2018
- auteur
- Mukesh Kulsreshath, Alexane Vital, Philippe Lefaucheux, Christophe Sinturel, Thomas Tillocher, Marylène Vayer, Mohamed Boufnichel, Rémi Dussart
- titre
- High aspect ratio etched sub-micron structures in silicon obtained by cryogenic plasma deep-etching through perforated polymer thin films
- article
- Micro and Nano Engineering, 2018, 1, pp.42-48. ⟨10.1016/j.mne.2018.10.007⟩
- DOI
- DOI : 10.1016/j.mne.2018.10.007
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-
2014
- auteur
- Judith Golda, Mukesh Kulsreshath, H Boettner, Valentin Felix, Remi Dussart, V Schulz-von Der Gathen
- titre
- Circular Emission and Destruction Patterns on a Silicon-Based Microdischarge Array
- article
- IEEE Transactions on Plasma Science, 2014, 42 (10), pp.2646. ⟨10.1109/TPS.2014.2337657⟩
- DOI
- DOI : 10.1109/TPS.2014.2337657
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-
- auteur
- Mukesh Kulsreshath, Judith Golda, V. Schulz-von Der Gathen, Remi Dussart
- titre
- Width dependent interaction of trench-like microdischarges arranged in sub-arrays on a single silicon based chip
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23, pp.045012. ⟨10.1088/0963-0252/23/4/045012⟩
- DOI
- DOI : 10.1088/0963-0252/23/4/045012
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-
2013
- auteur
- M. K. Kulsreshath, N. Sadeghi, L. Schwaederle, T. Dufour, L. J. Overzet, P. Lefaucheux, R. Dussart
- titre
- Ignition and extinction phenomena in helium micro hollow cathode discharges
- article
- Journal of Applied Physics, 2013, 114 (24), pp.243303. ⟨10.1063/1.4858418⟩
- DOI
- DOI : 10.1063/1.4858418
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-
2012
- auteur
- Mukesh Kulsreshath, Laurent Schwaederlé, Lawrence J. Overzet, Philippe Lefaucheux, Julien Ladroue, Thomas Tillocher, Olivier Aubry, M. Woytasik, G. Schelcher, Remi Dussart
- titre
- Study of dc micro-discharge arrays made in silicon using CMOS compatible technology
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.285202. ⟨10.1088/0022-3727/45/28/285202⟩
- DOI
- DOI : 10.1088/0022-3727/45/28/285202
- Accès au bibtex
-
- auteur
- Laurent Schwaederlé, Mukesh Kulsreshath, Lawrence J. Overzet, Philippe Lefaucheux, Thomas Tillocher, Remi Dussart
- titre
- Breakdown study of dc silicon micro-discharge devices
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.065201. ⟨10.1088/0022-3727/45/6/065201⟩
- DOI
- DOI : 10.1088/0022-3727/45/6/065201
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-
2010
- auteur
- Thierry Dufour, Lawrence J. Overzet, Remi Dussart, L. C. Pitchford, N Sadeghi, P Lefaucheux, M Kulsreshath, P Ranson
- titre
- Experimental study and simulation of a micro-discharge with limited cathode area
- article
- The European Physical Journal D : Atomic, molecular, optical and plasma physics, 2010, 60, pp.565-574. ⟨10.1140/epjd/e2010-00273-6⟩
- DOI
- DOI : 10.1140/epjd/e2010-00273-6
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- auteur
- Remi Dussart, Lawrence J. Overzet, P Lefaucheux, Thierry Dufour, M Kulsreshath, Monali Mandra, Thomas Tillocher, O Aubry, S Dozias, P Ranson, M Goeckner
- titre
- Integrated micro-plasmas in silicon operating in helium
- article
- The European Physical Journal D : Atomic, molecular, optical and plasma physics, 2010, 60, pp.601-608. ⟨10.1140/epjd/e2010-00272-7⟩
- DOI
- DOI : 10.1140/epjd/e2010-00272-7
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- auteur
- Remi Dussart, Lawrence J. Overzet, Philippe Lefaucheux, Thierry Dufour, Mukesh Kulsreshath, Monali Mandra, Thomas Tillocher, Olivier Aubry, Sébastien Dozias, Pierre Ranson, Jeong Bong Lee, Matthew Goeckner
- titre
- Integrated micro-plasmas in silicon operating in helium
- article
- The European Physical Journal D : Atomic, molecular, optical and plasma physics, 2010, 60, pp.601. ⟨10.1140/epjd/e2010-00272-7⟩
- DOI
- DOI : 10.1140/epjd/e2010-00272-7
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