Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers
Résumé
Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers
Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
Sandrine Juillaguet : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01936612
Soumis le : mardi 27 novembre 2018-14:49:43
Dernière modification le : vendredi 1 mars 2024-18:20:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01936612 , version 1
- DOI : 10.4028/www.scientific.net/MSF.806.45
Citer
Roxana Arvinte, Marc Zielinski, Thierry Chassagne, Marc Portail, Adrien Michon, et al.. Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers. HETEROSIC 2013, Jun 2013, Nice, France. pp.45 - 50, ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.806.45⟩. ⟨hal-01936612⟩
Collections
70
Consultations
0
Téléchargements